GB∕T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
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- 标准类型：检验检测
- 标准语言：中文版
- 文件类型：PDF文档
- 更新时间：2022-01-02
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资料介绍
GB∕T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
本文件描述了一种用于优化一般分析目的的飞行时间二次离子质谱（SIMS）仪器的质量校准准确度的方法。本文件仅适用于飞行时间仪器，但并不限于任何特定的仪器设计。本文件提供了对一些仪器参数优化的指导，这些参数能使用此程序进行优化，还提供了适用于校准质量标以获得最佳质量准确度的一般峰的类型。上一篇：GB∕T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
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本文件描述了一种用于优化一般分析目的的飞行时间二次离子质谱（SIMS）仪器的质量校准准确度的方法。本文件仅适用于飞行时间仪器，但并不限于任何特定的仪器设计。本文件提供了对一些仪器参数优化的指导，这些参数能使用此程序进行优化，还提供了适用于校准质量标以获得最佳质量准确度的一般峰的类型。