GB∕T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准

GB∕T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
本文件描述了一种用于优化一般分析目的的飞行时间二次离子质谱（SIMS）仪器的质量校准准确度的方法。本文件仅适用于飞行时间仪器，但并不限于任何特定的仪器设计。本文件提供了对一些仪器参数优化的指导，这些参数能使用此程序进行优化，还提供了适用于校准质量标以获得最佳质量准确度的一般峰的类型。