GB∕T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准

本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法，用于识别表面常规元素。另外，本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%，微分模式调制幅度的峰值为 2 eV，配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法，具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。
标准号：GB/T 29732-2021
标准名称：表面化学分析　中等分辨俄歇电子能谱仪　元素分析用能量标校准
英文名称：Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis
替代以下标准：GB/T 29732-2013
引用标准：ISO 18115
采用标准：ISO 17973:2016《表面化学分析　中等分辨俄歇电子能谱仪　元素分析用能量标校准》 IDT 等同采用
起草人：姚文清、杨立平、徐同广、王雅君、段建霞、李展平
起草单位：清华大学、中国石油大学(北京)
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)