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GB/T 12963-2022 电子级多晶硅
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资料介绍
本文件规定了电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的电子级多晶硅(以下简称“多晶硅”)。
替代GB/T 12963-2014
本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的电子级多晶硅(以下简称“多晶硅”)。
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