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GB/T 12963-2022 电子级多晶硅  下载

360book.com  2023-02-22 15:47:25  下载

本文件规定了电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的电子级多晶硅(以下简称“多晶硅”)。 替代GB/T 12963-2014 ...