电子枪与离子束技术

电子枪与离子束技术
作者：张以忱编著
出版时间：2004

电子枪与离子束技术近年来在科学研究和工业生产中得到了广泛的应用，尤其在冶金、宇航、电子工业中材料表面改性等领域的新工艺中更为多见。本书介绍了电子枪与离子束的理论基础，电子与等离子产生的机理，通过电场、磁场或复合场把产生的荷电粒子束进行聚焦、偏转、扫描等控制其运动规律的各种装置及其设计计算。内容分8章：电子束光学，电子束技术基础，离子束物理基础，强流轴向电子枪，偏转电子枪设计原理，空心阴极（HCD）电子枪，离子束应用技术，S枪离子溅射源的设计。作者基于多年的教学和科研实践，对内容进行了仔细的选取，力求理论与实际应用相结合，将与电子枪和离子束技术有关的基础理论与设计方法有机地结合在一起，较详细地论述了各种电子枪和离子枪的设计原理、设计计算方法及其应用；在内容上做到既具有一定的理论深度和系统性，又对相关设备的设计应用具有实践上的指导作用，为读者提供一个精练清晰、系统实用的内容体系。本书适合于真空技术、真空冶金、材料工程、热处理、焊接等部门从事设计、生产、研究和设备应用与维护的技术人员参考使用，也可供高等学校相关专业用做教材。