电子枪与离子束技术作者：张以忱编著出版时间：2004电子枪与离子束技术近年来在科学研究和工业生产中得到了广泛的应用，尤其在冶金、宇航、电子工业中材料表面改性等领域的新工艺中更为多见。本书介绍了电子枪与离子束的理论基础，电子与等离子产生的机理，通过电场、磁场或复合场把产生的荷电粒子束进行聚焦、偏转、扫描等控制其运动规律的各种装置及其设计计算。内容分8章：电子束光学，电子束技术基...