DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法
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- 标准类型：综合地方标准
- 标准语言：中文版
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- 更新时间：2022-12-16
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资料介绍
本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。
本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定﹐方块电阻测试范围为1×10-4 Ω~1×104Ω上一篇：DB32/T 4379-2022 氧化石墨烯材料 傅立叶变换红外光谱的测定
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本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定﹐方块电阻测试范围为1×10-4 Ω~1×104Ω