MEMS材料与工艺手册

MEMS材料与工艺手册
作者：（美）格迪斯，（美）林斌彦 著
出版时间：2014年版
内容简介
　　微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。《MEMS材料与工艺手册》由利萨·格迪斯著，内容包括MEMS材料，MEMS加工工艺和制造工艺，MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。本手册适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。
目　　录
1 MEMS设计流程
2 半导体和介质材料的添加工艺
3 金属材料的添加工艺
4 聚合物材料的添加工艺
5 压电材料的添加工艺：压电MEMS
6 形状记忆合金材料与工艺
7 微机械加工中的干法刻蚀
8 MEMS湿法腐蚀工艺和过程
9 MEMS光刻和微加工技术
10 MEMS中的掺杂工艺
11 圆片键合
12 MEMS封装材料
13 表面处理及平坦化
14 MEMS工艺集成