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GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
- 英文名称：The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
- 下载地址：[下载地址2]
- 提 取 码：rvj5
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资料介绍
本标准规定了利用双晶X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。
本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。
本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。
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