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GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
- 英文名称：Semiconductor devices-Micro-electromechanical devices一 Generic specification for MEMS
- 下载地址：[下载地址2]
- 提 取 码：hna1
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资料介绍
本标准描述了用半导体制造的微机电系统(MEMS)的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。
本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统(Micro一TAS)和微能源MEMS]。
本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统(Micro一TAS)和微能源MEMS]。
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