GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

英文名称：Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
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资料介绍

本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。
本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量（原子数)的测定，测定范围为0.01×10ˇ13 cmˇ-3～500×10ˇ13 cmˇ-3。