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GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
- 英文名称：Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon
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- 提 取 码：sg8y
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资料介绍
本标准规定了低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的方法。
本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω
本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω
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