薄膜材料的制备及应用

薄膜材料的制备及应用 [刘琳，刑锦娟，钱建华编著] 2011年版
本书包括以下主要内容：导论；薄膜制备的物理方法；第一章薄膜制备的化学方法；第二章薄膜技术应用；第三章薄膜的装置；第四章薄膜的形成、结构与缺陷；第五章特殊薄膜材料等。