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SJ∕T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范
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资料介绍
SJ∕T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范
本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。
本标准适用于半导体制造设备。
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本标准适用于半导体制造设备。
