SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

英文名称：Vacuum coating equipment requirements of readiness and methods of inspection assessment
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资料介绍

本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。
本标准适用于BOC700-4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行。