SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式 PECVD 设备

本文件规定了晶体硅光伏电池用板式等离子体增强化学气相淀积（PECVD)设备(以下简称“板式PECVD设备”）的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。
本文件适用于晶体硅光状电池用板武PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料，例如，非晶硅(a-Si:H)、微晶硅（uc-Si：H)、二氧化硅(SiO2)、氧化铝(Al2o3)、氮化硅(SiNx)薄膜等本征薄膜以及各种掺杂薄膜材科等，薄膜光伏电池、柔性光伏电池用PECVD设备也可参照使用。