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T/GVS 010-2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求

  • 文件大小:788.12 KB
  • 标准类型:综合团体标准
  • 标准语言:中文版
  • 文件类型:PDF文档
  • 更新时间:2023-02-18
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资料介绍

本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积(CVD)卷绕镀膜设备。

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