GB∕T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求本文件给出了监测粒径限值不超过0.1 μm（100 nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。注1： 本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上（纳米片)、2维上（纳米纤维)或3维上（纳米粒子)具有纳米尺度的纳米物质。注2： 请注意，洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及...