本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同)内容。本标准适用于在直径不大于150 mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。...