本标准规定了MEMS电场传感器(以下简称“传感器”)的原材料、结构组成、技术要求、试验项目和方法、检验规则、包装、存储和运输。本标准适用于MEMS电场传感器的研制、生产和采购。其他类型的电场传感器可参照使用。...