本标准规定了通过X射线反射技术（XRR）来测量平面衬底上厚度介于约1 nm～1 μm之间的单层和多层薄膜的厚度、密度和界面宽度的方法。本方法使用单色化的平行光进行角度或散射矢量扫描。类似的考虑事项适用于使用分布式探测器进行平行数据采集的会聚光束或者扫描波长的情形，但本标准不描述这些方法。对于X射线漫反射技术而言，实验要求是相似的，但本标准不包括这部分内容。测量可在具有不同配置的设备...