本文件规定了碳基薄膜的分类、命名及简称。本文件所述的碳基薄膜是以碳为主要成分，并由物理气相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）制备所得的薄膜。碳基薄膜包括非晶碳基薄膜[又称为类金刚石薄膜(DLC)]，CVD金刚石薄膜、石墨薄膜和类聚合物碳基薄膜。本文件适用于工业规模生产的碳基薄膜。本文件不适用于尚未实现工业规模生产的其余种类碳基薄膜。本文件只涉及碳基薄膜材料，不涉及由主体功能层...