本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。标准号：GB/T 26111-2023标准名称：微机电系统(MEMS)技术　术语英文名称：Micro-electromechanical system technology—Terms发布日期：2023-05-23实施日期：2023-09-01替代标准：GB/T 26111-2010采用标准：IEC 62047-1:2016《半导体器件　微机电器件　第1部分:术语和定义》 MOD...