本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生，在23℃时小于1×10-5Pa·m3·s-1（1×10-2Pa·L·s-1），放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300u。总放气率的上限1×10-5Pa·m3·s-1与放气材料的尺寸、总表面积、材质或者状态无关。如果标称放气率（单位面积放气率）已测定，则该面积采用名义几何表面积，而非包括表面粗糙度的比...