硅微机械传感器技术 作者：郑志霞 著出版时间：2012年版内容简介　　导语郑志霞所著的《硅微机械传感器》分为两部分：第一部分根据微机械加工的工艺流程，逐步展开介绍微机械传感器的工艺技术和一些特殊工艺。第二部分介绍硅微机械传感器的最新研究成果，主要包括微压力传感器、微加速度传感器、微机械陀螺、微热流量传感器等。内容提要郑志霞所著的《硅微机械传感器》围绕硅微机械传感器的基本原理...