微机电系统与设计出版时间：2010年版丛编项： 电子信息与电气学科规划教材内容简介　　《微机电系统与设计》较全面、系统地介绍了微机电系统的相关技术，并给出了大量实例，尽量使用通俗易懂的语言，让刚接触微机电系统的读者能够全面地了解这门学科。作者参考了国内外大量的相关文献资料，在教学实践基础上，并结合在科研和工作中的体会，编写了这本教材。《微机电系统与设计》共8章，第1章初识微机电系统，...