微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列 微机电耦合动力学作者： 许立忠，孙丽波 著出版时间： 2015年版丛编项： 微米纳米技术丛书，MEMS与微系统系列内容简介　　《微机电耦合动力学》主要介绍MEMs典型构件机电耦合及机电流体耦合动力学的相关理论与应用。《微机电耦合动力学》共分12章，主要内容包括：微机电系统及微机电系统动力学问题的发展与应用现状；静电驱动微板、微梁机电耦合动力学理论；静...