薄膜技术与薄膜材料 出版时间：2011年版 丛编项： 材料科学与工程系列 内容简介 　　《材料科学与工程系列：薄膜技术与薄膜材料》的应用范围极为广泛，从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光I.ED固体照明、太阳能电池到材料的表面改性等，涉及高新技术产业的各个领域。《材料科学与工程系列：薄膜技术与薄膜材料》内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工...