纳米技术手册·第2册：微纳机电系统和生物微纳机电系统 作　者： （美）布尚 主编 出版时间： 2013 内容简介 纳米技术手册（第2册微纳机电系统和生物微纳机电系统第3版影印版）》是非常实用的跨学科工具书，可供从事或即将从事这一领域研究的研究人员、科学家和工程师参考，也可供教学人员和研究生、高年级本科生使用。 缩略语 PartB　微纳机电系统和生物微纳机电系统 12.微纳机电系统器件及应用 　12.1　...