压电薄膜材料与器件制备技术 作者：张涛 着 出版时间：2012年 内容简介 　　《学术专着·材料科学与工程：压电薄膜材料与器件制备技术》主要讲述了压电薄膜与压电微型器件制备技术，主要内容分为引言、上篇、下篇和后记。在引言部分，对全书内容做了总体介绍。在上篇中，介绍了薄膜材料基础知识和基本制备方法，对当前国内压电薄膜的研究进展做了简单陈述，主要阐述高压电性PzT基三元系铁电薄膜PMnN—PZT...