微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用作　者： 顾长志 等着出版时间： 2013内容简介　　《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》共分十二章，第1-8章分类介绍了几种主要的微纳加工技术，包括：光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工，即简要概述了各种加工方法的科学基础，又从实用出发，介绍了各种技术的主...