微纳米加工技术及其应用作者：崔铮出版社：高等教育出版社出版时间：2005本书旨在综合介绍近年来微纳米加工技术的进展。全书共分为8章以微纳米加工的关键技术为主线，即微纳米光刻技术，其中包括光学曝光加工，电子束曝光加工，聚焦离子束加工，微纳米图形转移技术，微纳米图形复制技术，重点介绍这写技术的特点，典型设备，关键工艺技术，与其他类似技术的比较，近年来的新发展，未来的发展趋势。在介绍中以国际上近年...