书名:薄膜材料制备原理、技术及应用作者:唐伟忠着出版社:冶金工业出版社出版时间:1998.5简介:本书讨论了薄膜材料制备技术中常用的真空技术、各种物理化学气相沉积技术、薄膜材料的微观结构的形成以及薄膜材料的厚度、微观结构和成分的表征方法。 目录:1 薄膜制备的真空技术基础1.1 气体分子运动论的基本概念1.2 气体的流动状态和真空抽速1.3 真空泵简介1.4 真空的测量参考文献2 薄膜的物...