氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例作者： 赵祥敏，赵文海 著出版时间： 2015年版内容简介《氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例》以实例的形式，介绍了用磁控溅射法制备氧化锌（ZnO）薄膜、氮化铝（AlN）薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分8章，第1章主要介绍ZnO的晶体结构、能带结构、性能与应用；第2章主要介绍AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用；第3章主要介绍ZnO和AlN薄膜的常用制...