西北工业大学研究生高水平课程体系建设丛书 薄膜技术与应用作者: 冯丽萍,刘正堂 编出版时间: 2016年版丛编项: 西北工业大学研究生高水平课程体系建设丛书内容简介 《薄膜技术与应用》为研究生高水平课程教材。全书主要内容包括真空技术基础、真空蒸发镀膜、分子束外延生长、溅射镀膜、激光脉冲沉积、离子镀和离子束沉积、化学气相沉积、原子层沉积(ALD)镀膜、溶液镀膜法和自组装膜等...