南京大学材料科学与工程系列丛书 原子层沉积技术 原理及其应用作者： 李爱东 编著出版时间： 2016年版丛编项： 南京大学材料科学与工程系列丛书内容简介　　《原子层沉积技术 原理及其应用》是面向研究生和从事材料研发等相关行业的科研人员系统介绍原子层沉积技术原理及其应用的一本专业书籍，共13章。包括原子层沉积的发展历史、原理、前驱体、沉积材料及其理论计算与模拟等基础内容，又...