AlB2-type WB2基硬质薄膜的制备与性能研究作者： 刘艳明 著出版时间：2018年版内容简介　　《AlB2-type WB2基硬质薄膜的制备与性能研究》介绍了超硬自润滑硼化物薄膜——AlB2-type WB2基超硬薄膜的制备及改性。系统地描述了工艺参数（基体偏压、沉积温度、工作压强、靶功率）及N、C掺杂对AlB2-type WB2基硬质薄膜结构和性能（力学、摩擦热稳定性等）的影响规律及作用机制，建立了工艺参数、薄膜...