金刚石膜制备与物性研究及应用作者： 吴春雷 著出版时间：2019年版内容简介　　《金刚石膜制备与物性研究及应用》系统地研究了直流热阴极辉光等离子体辅助化学气象沉积金刚石膜的过程中，温度、压强、甲烷氢气流量比等实验参数对金刚石膜形貌、晶体结构和质量的影响；以甲烷、氢气为工作气体，研究低温低压下纳米金刚石膜的制备；探索向甲烷、氢气气氛中通入不同流量的三聚氰胺、氮气、氩气对...