光栅莫尔条纹纳米级细分技术 作者:常丽 著出版时间:2015年版内容简介 光栅因其具有精度高、成本低等优势,在传统的数显数控行业得到了非常广泛的应用。随着现代工业的飞速发展,对大量程纳米级位移测量与控制的需求不断扩大,基于光栅的大量程纳米级测量与控制的研究得到迅速发展。《光栅莫尔条纹纳米级细分技术》以近年来的研究重点作为应用广泛的低线密度光栅传感器为研究对象,以实际...