21世纪先进制造技术丛书 微纳米制造技术及应用 作者：张德远 等编著 出版时间：2015年版丛编项： “十二五”国家重点图书出版规划项目21世纪先进制造技术丛书内容简介　　微纳米制造技术广泛应用于大规模集成电路、微机械结构、微机电系统、传感器、驱动器、功能材料与涂层等，涉及电子、机械、光学、物理、化学、材料、生物等多种学科，是制造技术的融合交叉新领域。本书共分7章，内容涵盖了微机械加...