高等学校规划教材·材料科学与工程 现代薄膜材料与技术 作者：张永宏 主编 出版时间：2016年版丛编项： 高等学校规划教材，材料科学与工程内容简介　　《现代薄膜材料与技术》由薄膜制备技术、薄膜检测技术和典型薄膜材料及其应用3部分构成，系统介绍了现代薄膜技术中涉及的真空的获得和测量方法、薄膜制备技术中重要的物理和化学方法、薄膜材料常用的结构分析和性能测试方法，全面阐述了典型薄膜材料...