微机电系统原理作　者： [韩] 李基邦 著；马晓军，吕强，王国胜，魏曙光 译出版时间：2014内容简介微机电系统（MEMS）技术研究主要针对微小系统 ，它在汽车、无线电话、数码相机 以及医疗设备等方面都有着广泛的应用。李基邦编著 的这本《微机电系统原理》通过作者研究以及参考其 他有价值的文献， 针对MEMS提出了统一法和封闭形式解方法，便于读者 更好地理解MEMS中的线性和非线 性问题，以及开展相关应用设计。...