微机电系统机械学作　者： 张向军 编著出版时间：2012丛编项： 清华大学微机电系统工程系列教材内容简介　　《清华大学微机电系统工程系列教材：微机电系统机械学》系统论述了微机电系统的力学原理基础及其规律，内容主要针对机械系统的特征尺度降低到微米和纳米量级时出现的主导作用力及各种微观效应。本书取材前沿，较全面地反映了微机电系统中的力学基础问题。全书共6章，根据自2005年9月起在清华大...