超高真空 作　者： 崔遂先，王荣宗 著出版时间： 2013丛编项： 真空科学技术丛书内容简介　　《真空科学技术丛书：超高真空》共分6章。比较全面系统地阐述了超高真空技术涉及的气体分子运动的经典理论、主要常用公式，各类超高真空扩散泵、涡轮分子泵、溅射离子泵、低温泵，超高真空阀门、挡板等元部件，超高真空测量，超高真空系统设计及维护运转。《真空科学技术丛书：超高真空》可供从事超高真空技术工作的...