MEMS多晶圆旋转机械：涡轮机，发电机和发动机作　者： Jeffrey,H.lang出版时间： 2016 内容简介　　《MEMS多晶圆旋转机械：涡轮机、发电机和发动机》作为PowerMEMS领域的一本里程碑式的著作，是由麻省理工学院牵头、历时13年的MEMS微发动机项目研究成果的一个总结。该项目涉及了多个学科的理论与技术，涵盖微制造、薄膜技术、材料科学、结构学、燃烧与传热学、电机科学等多个领域，除麻省理工学院...