多弧离子镀Ti-Al-Zr-Cr-N系复合硬质膜作 者: 赵时璐 著出版时间: 2013内容简介 《多弧离子镀Ti-Al-Zr-Cr-N系复合硬质膜》介绍了利用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶和纯Cr靶的组合方式,在W18Cr4V高速钢和WC—80%Co硬质合金两种基体上制备的Ti-Al-Zr-Cr-N系四元复合硬质膜,即(Ti,Al,Zr,Cr)N多元膜、(Ti,Al、Zr)N/(Ti,Al,Zr,Cr)N和CrN/(Ti,A1,Zr,Cr)N多元双层膜及TiAlZrCr/(Ti,AL,Zr,Cr)N多元梯度膜。同时还分析了薄...